Kontaminationsfreier Transport im Vakuum
Das Handling im Vakuum ist oft eine wenig beachtete, aber dennoch heikle Aufgabe. Um Substrate ins Vakuum einzuschleusen und durch Gate-Ventile zu mehreren Prozessstationen zu bringen, steht jetzt ein planares Vakuumtransportsystem zur Verfügung. Seit der Formulierung des Mooreschen Gesetzes im Jahre 1965 hat sich die Zahl der Transistoren eines…[mehr]
Kleiner, feiner, reiner
Um Feinststrukturen noch kleiner und genauer produzieren zu können, wurden bei einem Hersteller von Leiterplatten neue Reinraumanlagen installiert. Dies geschah, ohne die bestehenden Produktionslinien abzubauen, sodass während des Umbaus weiter produziert werden konnte.
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Reine Luft am Plansee
Die Verarbeitung der Metalle Molybdän und Wolfram zu hochreinen Bestandteilen für die Halbleiterindustrie macht einen Reinraum der ISO-Klasse 6 notwendig. Abgestimmte Umluftführung und Steuerungstechnik ergeben ein energieoptimiertes und sicheres Konzept.
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Zelt statt fester Wände
Nicht überall sind stationäre Reinräume die optimale Lösung. Gerade in Branchen, in denen flexibel auf schwankende Auftragszahlen reagiert werden muss oder temporäre Projekte durchgeführt werden, besteht ein Bedarf an einer flexibleren Lösung.
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Präzisionsoptik nicht nur schnell reinigen
Die Teilevielfalt, sehr unterschiedliche und teilweise hochempfindliche Glassorten, verschiedenste Teiledimensionen sowie hohe Durchsatzanforderungen erforderten in der Optik-Kernfertigung ein komplexes Ultraschall-Reinigungssystem.
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Kolumne: Die Kunst des reinen Arbeitens (2)
Im zweiten Teil seiner Kolumne »Die Kunst des ›reinen‹ Arbeitens« widmet sich Joachim Ludwig der Frage, wie Anwender von Reinheitstechnik einen Unterstützer finden und eben nicht nur einen Lieferanten. Er macht deutlich, dass es nicht zum Erfolg führt, losgelöst von den Prozessen und Produkten des Anwenders ausschließlich den Reinraum und die…[mehr]
Plasmatechnik für haltbare Verbindungen
Um eine gute Adhäsion zu erreichen und Verbindungen zu verbessern, kann Plasma unter Atmosphärendruck auf vielfältige Weise eingesetzt werden. Das macht das Verfahren zu einer attraktiven Alternative zu chemischen Haftvermittlern und Lösungsmitteln.
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Auf engstem Raum
Bei der Montage von Spiegeln, Prismen, Kameras und Elektronikkomponenten für einen Hyperspektral-Satelliten muss jede Berührung ausgeschlossen werden. Weil zwischen den Bauteilen oft nur Bruchteile eines Millimeters liegen, stellt dies auch für die Längenmessgeräte und Positionsanzeigen eine Herausforderung dar.
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Null Toleranz für Partikel
Partikel, Keime und elektrostatische Aufladung bedeuten eine große Herausforderung bei der Produktion von Mikrostrukturen. Von Raum-in-Raum-Lösungen bis hin zum Reinraum ist vieles möglich. Bei der Umsetzung gilt: so viel wie nötig, so wenig wie möglich.
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Oberflächenreinigung bis in den letzten Winkel
Ein neues Reinigungsverfahren macht sich den physikalischen Prozess der zyklischen Nukleation zunutze, um Partikel und Verschmutzungen an schlecht zugängigen Stellen zu entfernen.
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