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Das Sensorspektrum für die Waferfertigung

In der Halbleiterindustrie entscheiden oft Bruchteile eines Mikrometers über Qualität und Ausbeute. Daher werden in zahlreichen Fertigungsstufen hochpräzise Sensoren eingesetzt, um Maschinenbewegungen zu überwachen, sub-µm-genaue Positionierungen zu ermöglichen und geometrische Messungen am Wafer auszuführen.

Messtechnik als Basis für die Mikrozerspanung

Die geometrische Genauigkeit einer Werkzeugmaschine und die Qualität der Messsystem-Signale sind entscheidend für präzise Werkzeugwege. Um Montage, Inbetriebnahme und Betrieb seiner Maschinen weiter zu optimieren, hat der Werkzeugmaschinenhersteller Anderson Europe eine Partnerschaft mit Renishaw geschlossen und setzt dabei auf moderne Messtechnik.

Kalibrieren an der messtechnischen Nachweisgrenze

Mit einem präzise rückgeführten Kalibrierverfahren zeigt der Luftlagerspezialist Eitzenberger, wie sich luftgelagerte Rundtische auf

Subwinkelsekunden-Niveau trimmen lassen. Systematische Abweichungen werden nahezu eliminiert – die Positionsgenauigkeit nähert sich der messtechnischen Nachweisgrenze.

Schneller, genauer und kontaktlos

Präzises, wiederholtes Messen und Prüfen von Kleinstteilen bei hohen Geschwindigkeiten sind wichtige Anforderungen für die Uhrenindustrie sowie für alle Branchen, die mit Mikrokomponenten arbeiten. Denn so lässt sich Produktionsausschuss vermeiden und die Fertigung präziser Teile sicherstellen. Petitpierre SA mit Hauptsitz im schweizerischen…[mehr]

Auf den Punkt genau messen

Die industrielle Automation stellt hohe Anforderungen an die Präzision und Effizienz von Messverfahren. Hierbei haben sich konfokal-chromatische Sensoren als wegweisende Technologie etabliert. Neue Sensorgenerationen sind noch kompakter und leistungsfähiger.

Ein Hybrid als Alternative zum Hexapoden

Parallelkinematiken mit sechs Freiheitsgraden sind hervorragende Positionierer, aber dennoch keine Patentlösung. Eine Kombination aus Tripod und XY-Kreuztisch vereint die Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme in einem wirtschaftlichen Produkt.

Messsysteme für funktionale Sicherheit

Funktionssichere Messsysteme spielen eine entscheidende Rolle bei der Gewährleistung der Maschinensicherheit und -zuverlässigkeit. Durch die Einführung hochmoderner Sicherheitsfunktionen können Maschinenhersteller sicherere Maschinen mit höherer Funktionalität sowie kürzeren Rüst- und Ausfallzeiten bauen.

Magnetisieren im neuen Maßstab

Seit mehreren Jahren gibt es in der Industrieautomatisierung einen stetig steigenden Bedarf an Messsystemen auf magnetischer Basis. Eine neu entwickelte, hochpräzise Linear-Magnetisieranlage ermöglicht nun ein höheres Niveau für magnetische Messsysteme.

Empfindliche Fotodioden

Fotodioden aus kostengünstigem Silizium erweitern die Messtechnik: Fotodioden finden sich überall – als Bildsensor in Kameras, die in der Prozesstechnik Oberflächen inspizieren, oder innerhalb der Messtechnik in Spektroskopiesystemen.

Messgeräte mit Genauigkeiten von weniger als 30 nm

Der Bedarf an Bauteilen, die ultrapräzise gefertigt werden, steigt stetig. Doch wie lassen sich die Bauteile messtechnisch erfassen, wenn Koordinatenmessgeräte den Ansprüchen nicht mehr genügen? Selbst ist der Ingenieur, dachte man sich beim Unternehmen LT Ultra – und etablierte einen florierenden Geschäftszweig.